Прочие машины, агрегаты и оборудование промышленные или лабораторные с электрическим или неэлектрическим нагревом для обработки материалов процессами, использующими изменение температуры
Автоматизированная установка ионно-химического, плазмохимического и ионного травления тонких пленок в вакууме.