Прочие машины, агрегаты и оборудование промышленные или лабораторные с электрическим или неэлектрическим нагревом для обработки материалов процессами, использующими изменение температуры
Предназначены для ионно-лучевого распыления (работа с небольшими дорогостоящими мишенями), ионного ассистирования при напылении, ионного травления подложек.