Приборы и аппаратура для измерений или проверки полупроводниковых пластин или приборов
Предназначена для оценки электрических свойств микроэлектронных устройств путем взаимного позиционирования полуавтоматизированных микроманипуляторов зондов и исследуемых образцов, а также записи их вольт-амперных характеристик (ВАХ).