ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ для сухой обработки поверхности в плазьме ВЧ разряда (Плазмохимическое травление) ПЛАЗМА ТМ 7

Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для произ водства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов электронных интегральных схем или плоских дисплейных

Травление тонких диэлектрических и металлических плёнок, а также полупроводниковых материалов методом реактивно-ионного травления.