ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ для сухой обработки поверхности в плазьме ВЧ разряда (Реактивно-ионное травление слоёв (RIE) ПЛАЗМА ТМ 5)

Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для произ водства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов электронных интегральных схем или плоских дисплейных

Плазмохимическое селективное (реактивно-ионное, анизотропное) травление диэлектрических и металлических плёнок.